压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,确保了产品的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
N20系列压电旋转台为一维θz旋转台,中心透空孔直径20mm,产品体积小巧,旋转角度可达0.55mrad,重复定位精度达0.2%F.S.,可带动镜片做精密旋转运动。
特性
• θz旋转,旋转角度可达0.55mrad • 通孔直径:Ø20mm
• 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 体积小巧
小体积、中心通孔、高分辨率、高可靠性
N20为一维θz高精度旋转平台,旋转轴位于正中心,中心通孔用于透射光应用,采用有限元分析对微结构进行优化,满足动态性以及平面导向精度。
平台内部采用高可靠性压电陶瓷作为驱动元件,台体采用的柔性铰链机构具有无摩擦无回弹等特点,使其具有高的分辨率以及可靠性。
旋转台面固定安装孔便于与其他台体机构集成配套,也可根据用户的需求进行OEM定制。
应用
• 光路调整 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量等
大承载力适用于精密加工
N20系列压电旋转台的旋转角度可达0.55mrad,优异的铰链导向机构设计,使其承载力可达4kg,并且具有高稳定性等特点,非常适用于科研及工业上精密操作、光路调整等应用。