压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有的运动精度和高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P31俯仰/偏转镜系统可提供光束偏转角度达50mrad，这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计，两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点，具有高分辨率及高定位精度等特点。
特性
• θx,θy二维偏转，大偏转角度25mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高
• 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间
高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性
P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷，可提供更好的稳定性及可靠性。
压电促动器、导向机构及传感器是免维护的，不易损坏且提供高的可靠性。的铰链/杠杆设计将惯性小化，允许25mrad的大角度俯仰/偏转范围（可将光束偏转50mrad），且具有非常快的响应速度，在毫秒级范围。
除了大偏转角度及高动态，P31还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器（SGS）实现了的位置控制，具有优异的重复定位精度，通常为满行程的0.2%。
结构原理
压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供高可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。
应用
• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉
