美国Brooks On-Board IS 低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率大、极限压力低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

美国Brooks On-Board IS 低温泵的结构特点：

立式结构：适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。

对称结构：泵的体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。冷头一般采用二级机构，级达到80K,第二级达到温度10K。

双层壳体：为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。外壳需做成真空夹层，已达到隔热效果。

低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。凝结热与气体种类有关，对于 80K、133.322帕·升的氮气冷凝在20K冷板上的凝结热为0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的辐射热与周围壁面板温度和工作冷板温度两者的4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板来屏蔽，以减少工作冷板所接受的辐射热。

美国Brooks On-Board IS 低温泵的优势：

低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；

低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方面具有较大抽速；

低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；

在要求大抽速的真空设备中，低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速

低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；

在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；

低温泵的安装无任何方向要求；

低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。

美国Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低温泵系统采用创高效低温技术，可以提供的真空性能和能源效率。获得的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持优系统从而实现在较宽真空范围内都有优越的工艺连续性。

美国Brooks On-Board IS 低温泵为您带来长的连续运行时间、佳产能，同时相对当今现存的其他任何低温泵系统其具有低的购置成本，并提供Brooks全球服务支持网络的快速响应支持。

美国Brooks On-Board IS 低温泵的主要特性：

获得的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持优系统从而实现在较宽真空范围内都有优越的工艺连续性

单台泵和多台泵配置的快速再生

低能耗及冷却水消耗却无真空特性损失

系统集成方便

产品安装快捷

增强的远程监控功能可同时预防和预测维护