粉体石英腔体等离子清洗机

PT-5SM型是双路气体输入，
腔体材质：    石英
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-200W可调
射频频率： 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 1pa-30Pa
气体路数： 双路气体输入
气体流量： 10—100ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-可调
内腔尺寸 直径150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸： PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量： 45Kg
真空泵： 抽速4L/S 
真空室温度： 小于30°C
冷却方式： 强制风冷