美国MKS质量流量控制器 MKS 1179A系列质量流量控制器
MKS 1179型是一种通用的质量流量控制器的设计措施control the flow of gases in a wide variety of applications. Type 1179 Mass-Flo® Controllers控制在各种各样的应用，气体流量。1179型®质量流量控制器are available with Full Scale ranges from 10 sccm to 20 slm providing fast repeatable flow有充分的范围从10到20 sccm的SLM，提供快速，可重复的流程control to as low as 0.2 sccm. It can also be used as a pressure controller when connected控制到尽可能低为0.2 sccm的。它也可以被用来作为一个压力控制器连接时to a suitable pressure transducer.一个合适的压力传感器。The 1179 is a direct form-fit-function replacement for the most common MFC’s on the market1179是一个直接的形式拟合函数替换为*常见的MFC的市场today. The standard 3-inch footprint enables the 1179 to drop directly into the same。标准3英寸的足迹，使1179直接下降到相同的space without modifying existing gas lines. Electrical connectors are the same PC card无需修改现有的煤气管道空间。电连接器相同的PC卡edge or Type “D” connectors with the same pin-outs signals and functions as their industry边缘或类型的“D”连接器，具有相同的引脚输出，信号，和功能为业counterparts so no cable or connector rewiring is necessary. The 1179 is compatible with同行，所以没有电缆或连接器接是必要的。1179是兼容的MFC power supply and display electronics from MKS or other manufacturers.从MKS或者其他制造商的MFC的电源和电子显示屏。
美国MKS质量流量控制器 MKS 1179A系列质量流量控制器优势：
要求的过程
• Patented1 sensor design provides
•patented1传感器的设计提供了exceptional zero stability特殊的零稳定性
• Full scale flow ranges from 10 sccm to
•满刻度流量范围从10 sccm的20 slm for precise and repeatable flow20 SLM和可重复的流程measurement and control测量和控制• Percent of full scale accuracy for analog模拟满量程精度•%configurations配置
• Fast warm-up time minimizes expensive
•快速预热时间减少昂贵的production downtime停机时间
• Compatible with earlier MKS MFC and
•兼容以前的MKS MFC和power supply/readout modules电源/读出模块Robust Reliable Design
强大的，可靠的设计
• Rigorous design and testing includes
•严谨的设计和测试包括MTBF analysis and STRIFE testing to故障分析和冲突检测ensure long-term performance确保长期性能• Surface finish of wetted stainless不锈钢表面的润湿•surfaces cleanroom processing and表面处理，洁净室，和minimal use of elastomer seals enable橡胶密封件的使用使*小use in demanding clean processes使用要求的清洁工艺
• CE Mark compliant – meets
•CE标记–符合标准requirements for European Union欧洲联盟的要求
• Two year warranty ensures quality and
•确保质量和customer satisfaction顾客满意
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