MEMS VOC气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点
本品采用MEMS工艺，结构坚固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点
主要应用
适用于室内空气质量监测 、手机电脑等消费类子产品应用检测空气质量也适用于呼出气体检 测仪、室内烟雾报警等。
技术指标
| 气敏元件特性 | 符号 | 标准值 | 小值 | 大值 | 单位 |
| 传感器电阻 | R0 | - | 100 | 1500 | KΩ |
| 气体（C2H5OH）检测浓度 | FS | - | 1 | 500 | ppm |
| 灵敏度 | S50 | - | 1.2 | 50 | - |
注：1. R0 是在环境温度23±5℃，环境湿度50±10%RH的标准工作条件下测得；
2. S50 即Rs(10ppm C2H5OH)/R0(in air)是在环境温度23±5℃，环境湿度50±10%RH的条件下，传感器在50ppm C2H5OH气氛中的电阻值与传感器在洁净空气中的电阻值的比值。
| 条件 | 符号 | 参数范围 | 单位 |
| 大加热功率 | PH | 50 | mW |
| 回路电压 | VS | 4.9 – 5.1 | V |
| 相对湿度范围 | RH | 5 – 95 | %RH |
| 工作环境温度 | Ta | -30 – 85 | °C |
| 储存温度范围 | TS | -40 – 120 | °C |
| 储存湿度范围 | RH | 5 - 95 | %RH |
| 名称 | 符号 | 标准值 | 小值 | 大值 | 单位 |
| 加热功率 | PH | 55 | 50 | 60 | mW |
| 加热电压 | VH | 2.5 | - | - | V |
| 加热电流 | IH | 22 | - | - | mA |
| 加热电阻 | RH | 77 | 70 | 89 | Ω |
注：产品参数如有变动，恕不另行通知
