技术参数：
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型 号 |
TomoScope |
TomoCheck |
TomoScope HV Compact |
TomoScope HV |
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***测量工件尺寸(直径) |
90mm |
90mm |
350mm |
350mm |
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***测量高度 |
200mm |
200mm |
350mm |
500mm |
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***允许误差 (用CT传感器) |
(45+L/75) μm |
(15+L/500) μm |
(45+L/75) μm |
(45+L/75) μm |
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***允许误差(E1:单轴精度) |
(25+L/120) μm |
(05+L/900)μm |
(25+L/120) μm |
(25+L/120) μm |
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(E2:平面精度) |
(29+L/100) μm |
(07+L/600) μm |
(29+L/100) μm |
(29+L/100) μm |
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(E3:空间精度) |
(45+L/75) μm |
(15+L/500) μm |
(45+L/75) μm |
(45+L/75) μm |
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X射线源 |
130kV(150190kV可选) |
130kV |
225kV |
225kV(450kV可选) |
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X射线探测器像素 |
1024x1024 |
1024x1024 |
1024x1024 |
2048x2048 |
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X射线探测器尺寸 |
50x50mm |
50x50mm |
200x200mm |
400x400mm |
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分辨率 |
0.1μm |
0.1/0.01μm |
0.1μm |
0.1μm |
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定位速度 |
150mm/s |
60mm/s |
150mm/s |
150mm/s |
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加速度 |
300mm/s2 |
250 mm/s2 |
350 mm/s2 |
350 mm/s2 |
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工作台承重 |
2kg |
10kg |
40kg |
40kg |
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电源 |
230V +/-10% |
3x400V/N/PE |
3x400V/N/PE |
3x400V/N/PE |
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气压 |
7-10bar |
7-10bar |
7-10bar |
7-10bar |
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仪器自重 |
3000kg |
6000kg |
8500kg |
11000kg |
