HEPA（高效率过滤器）是后一层的过滤。是由玻璃纤维纸所制造。它可以过滤掉0.3μm的粉尘达99.97%，是人类头发直径的1/300的粉尘。每一个过滤器都经过DOP（美国陆军部）的测试，并使用在适合的规格上。HEPA过滤器可以收集到有毒的危险的粉尘。适合用在较细微的过滤。ULPA（高效率过滤器）也是使用玻璃纤维纸所制造，但是它的材质编排的更加的紧密。它可以过滤掉99.9995%的粉尘，包括0.12μm大小的粉尘，是人类头发直径的1/960。ULPA过滤器比HEPA过滤器更适合用在极重要的污染控制里。
GM80P高效过滤器（H13）属于标准配置，加装HEPA的GM80P无尘室吸尘器可以适用于百级无尘室。
用于无尘室CLASS10以上，加装ULPA高效过滤器，过滤效果（0.12um达99.995%）。
用于无尘室CLASS100以上，加装HEPA高效过滤器，过滤效果（0.3um达99.97%）。
用于无尘室CLASS10000以上，加装集气罩（只不加HEPA和ULPA的GM80），过滤效果（0.6um达99.5%）。
GM80P参数表：
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额定电压 （V） |
220 |
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功率 （W） |
大达到1300 |
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空气流量 （L/S） |
38 |
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真空压 （mm/WG） |
2270 |
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集尘桶容量（L） |
9 |
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回转半径 （cm） |
30 |
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高度 （cm） |
41（含把手） |
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重量 （kg） |
0.2 |
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电线长度 （m） |
10 |
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噪音 （dBA ） |
67 |
