一、ALICAT耐腐蚀质量流量控制器产品优势
操作简单
Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单，用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。
控制
Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高
Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比于同类产品，其压损较低，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的佳选择。
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，除了RS-232数字信号输出，还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。
反应灵敏
与相应标准型M/MC系列相同，MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。
高重复性
Alicat 的技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
全球现有过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境监测、 真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
二、ALICAT耐腐蚀质量流量控制器标准性能
三、ALICAT耐腐蚀质量流量控制器性能参数
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指标 |
ALICAT耐腐蚀质量流量控制器 |
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量程 |
0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
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精度 |
±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程） |
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重复性 |
±0.2% |
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量程比 |
200:1 |
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响应时间 |
100ms |
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标准状态(STP) |
25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
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温度范围 |
-10～50 |
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零点漂移 |
0.02％ |
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量程漂移 |
0.02％ |
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湿度范围 |
0- |
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测量流量范围 |
128％（过流率） |
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大耐压 |
145psi |
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输出信号（数字） |
质量流量、体积流量、压力和温度 |
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数字信号可选 |
RS485，Modbus，Profibus |
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输出信号（模拟） |
质量流量、体积流量、压力和温度 |
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模拟信号可选 |
0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
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电气连接 |
8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定） |
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供电电压 |
7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC） |
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供电电流 |
0.035A（4-20mA输出时为：0.055A） |
