Porter,热式质量流量控制器

一、PORTER,热式质量流量控制器设计特点 
热式原理 
一体化设计
 
满量程从 5SCCM 
 1000SLPM 
响应时间不过 2 秒钟
 
操作压力可达
 20.7MPa 
对安装位置不敏感
 
316SS 材质,允许测量腐蚀性气体
 
无直管段安装要求
 
单电源供电
 


二、PORTER,热式质量流量控制器技术参数 
流量范围 :从 0-5SCCM  0-1000SLPM N 2 ,具体请参考表一
 
响应时间 : 1  2 
 
精 度 : ± 1% 满量程(除 204A 型)
 
---------± 1± 1.5%.满量程( 204A 型) 
重 复 性 : ± 0.2% 满量程
 
量 程 比 : 50:1  2%- 满量程)
 
环境和操作温度 : -10  70 
 
大操作压力 : 3000PSIG  20.7MPa ),具体请参考资料

零点漂移: ± 0.05 % 满量程 /  
范围漂移 : ± 0.05 % 读数 / 
 
压力漂移 : 0.1%/atm (相对于 N 2 
 
安装方向 : 对位置不敏感
 
预热时间 : 10 分钟
 
电气连接 : 卡式 ( 20 针)或 D 型( 9 针)
 
设定点输入流量信号输出 :0-5VDC/0-5VDC4-20mA/4-20mA

供应电源 : 
电压输出:+ 12( ± 5  ) (仅适用于 0-5VDC  1-5VDC 流量信号输出)或 +15( ± 10 
 )VDC 
电流输出:+ 15( ± 5  )  +24( ± 15 
 )VDC 
电流消耗:<
 250mAdc 
重 量 :请参考表一

三、PORTER,热式质量流量控制器结构材质

主体: 316SS 
传感器组件 :
 316LSS 
孔:
 316SS 
阀构成部件 (接液):
 
302SS 
 316SS  430FSS  Sandvik?1802 (除 202  221  222  251 型);302SS  316SS  Sandvik?1802  202  221  222  251 型)
 
密封材质(" O "型环和阀座):
 
Buna N 
 EPDM  Kalrez  Neoprene  Viton (除 202A  203A  204A 型);Buna N  Viton 202A  203A  204A 型)
 
过程连接: 316SS

四、PORTER,热式质量流量控制器选型表

型号

流量范围

小/大 N2

大操作压力

PSIG(MPa)

重量

Ibs(Kg)

201

0-5SCCM/0-10SLPM

1000(6.9)

1.2(0.54)

202

 0-10SLPM/0-100SLPM

1000(6.9)

4.1(1.86)

221

0-5SCCM/0-10SLPM

3000(20.7)

4.11.86

222

 0-10SLPM/0-100SLPM

3000(20.7)

4.11.86

251

0-10SLPM/0-50SLPM

1000(6.9)

1.40.64

202A

 0-10SLPM/0-100SLPM

200(1.4)

5.12.31

203A

 0-100SLPM/0-500SLPM

200(1.4)

10.94.95

204A

 0-500SLPM/0-1000SLPM

200(1.4)

10.94.95


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