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MEMS 一氧化碳/氢气传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

传感器特点

低功耗

高灵敏度

MEMS工艺,结构坚固

简单的驱动电路

快速的响应恢复特性

主要应用

检测气体种类：

一氧化碳（CO）：10-5000ppm

氢气（H2）：10-500ppm

适用于手机等电子产品、家庭、商业等不用场合的一氧化碳或煤气泄漏监测装置、气体捡漏仪、防火/安全探测系统

技术指标