8626 型质量流量测量仪构成了一个集成式系统,该系统包含了流量传感器组件、电子调节设备以及相应的调节元件。利用这种测量仪可以将气体的质量流量保持恒定或跟踪规定的额定值轮廓,不会受到干扰因素(例如,压力或温度波动)影响。传感器根据热力原理工作(恒定温度风速计)。测量在主流中进行,直接提供质量流量,不需修正(参见第 2 页描述)。在数字流量调节器中,会对额定值与实际值进行比较,并计算用于比例阀的调节信号。直动式比例电磁阀根据经过验证的升降式衔铁原理工作,受一个 PWM 电压信号的控制。一个集成式控制装置确保了,除了其调节功能之外,阀门还能在达到规定的额定值 0% 时同时密封关闭。在主流中进行测量的基础上,8626 型 MFC 的特征在于,具有高动力和微小的污染敏感度。它可以作为流量调节器,应用于多种用途。典型的用途是在以下领域中进行气体计量或配制混合气体:工艺技术、热处理、环境技术、材料涂层、燃烧器控制以及燃料单元技术。