压电快反镜 芯明天科技——压电纳米定位行业*！产品定制服务我们更*！每年参加展会：?url=5rDJzZDzi4SCWPyYvG2vPZpOPsC7l0Y6d3XYo7gCXXGn4_J8O-zGUdCa9SExtcXU">LASER World of PHOTONICS CHINA慕尼黑上海光博会、北京光电周ILOPE、深圳光博会CIOE。
哈尔滨芯明天科技有限公司*致力于压电纳米定位系统的研发生产与销售。二十年的行业经验、*的研发团队、雄厚的研发实力、完善的管理体系、可靠的品质保障为您提供*压电纳米定位技术解决方案！
主营产品包括压电陶瓷材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、纳米定位台、压电纳米定位台、微米纳米定位台、压电平移台、压电运动台、压电位移台、压电显微扫描台、压电位移台、压电平移台、1-3维纳米精度偏转台/旋转台、压电偏转镜、压电倾斜镜/压电快反镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器、压电陶瓷控制器、电感/电容/激光测微仪等产品，同时提供压电点胶阀维修服务等。
压电快反镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有*的运动精度和高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34 系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计，可加载直径达 80mm 的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常*的角度定位稳定性。P34 系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面可选，以获得对不同镜片材料的*热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度*可达 6mrad( 等于光束偏转 12mrad)。
特点：
• θx、θy 二维偏转
• *偏转范围 6mrad
• 亚毫秒响应时间
• 闭环定位精度高
• 温度稳定性高
应用：
• 图像处理与稳定
• 激光扫描 / 光束偏转
• 主动及自适应光学
• 光学滤波器
• 光束稳定
• 多角镜的误差修正
高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长:
芯明天压电俯仰 / 偏转镜系统是基于平行运动学设计，两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器是成对的差分控制，决定了平台俯仰 / 偏转运动。这使得 P34 压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常*的角度定位稳定性。
内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证*的可靠性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。
技术参数
型号
尾缀S-闭环
P34.T1S
P34.T2S
P34.T4S
单位
尾缀K-开环
运动自由度
θx,θy
θx,θy
θx,θy
运动和定位
标称偏转角度（0~+120V）
1.2( ≈ 250 秒 ) 或 ±0.6( ≈ 120 秒 )
2.5( ≈ 520 秒 ) 或 ±1.25( ≈ ±260 秒 )
5( ≈ 1030 秒 ) 或 ±2.5( ≈ ±520 秒 )
mrad±20%
偏转角度（0~+150V）
1.5( ≈ 310 秒 ) 或 ±0.75( ≈ ±160 秒 )
3( ≈ 620 秒 ) 或 ±1.5( ≈ ±310 秒 )
6( ≈ 1240 秒 ) 或 ±3( ≈ ±620 秒 )
mrad±20%
传感器类型
SGS/-
SGS/-
SGS/-
闭/开环分辨率
0.1( ≈ 0.02 秒 ) /0.02( ＜ 0.01 秒 )
0.2( ≈ 0.04 秒 )/ 0.1( ≈ 0.02 秒 )
0.4( ≈ 0.08 秒 )/ 0.2( ≈ 0.04 秒 )
µrad
闭环线性度
0.1/-
0.2/-
0.3/-
%F.S.
闭环重复定位精度
0.02/-
0.02/-
0.02/-
%F.S.
机械性能
空载谐振频率
2
1.4
0.9
kHz±20%
加载后谐振频率（Φ80x15mm镜片）
1.3
0.7
0.4
kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间
2/1
4/2
10/4
ms±20%
空载工作频率*
10%行程
1000
500
240
Hz±20%
*行程
100
50
20
驱动性能
静电容量
3.6
7.2
14.5
μF/轴±20%
其它
工作温度范围**
-20~80
-20~80
-20~80
°C
材质
铝
铝
铝
外形尺寸（长×宽×高）
59.5×59.5×38
59.5×59.5×56
59.5×59.5×92
mm
重量
200
400
800
g±5%
出线长
1.5
1.5
1.5
m±10mm
传感/电压连接器***
LEMO
LEMO
LEMO
P34.T1K
P34.T2K
P34.T4K
*若此工作频率已接近或过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于闭环使用时工作频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
哈尔滨芯明天科技有限公司致力于压电纳米定位产品的研发、生产与销售，主要服务于制造高端精密设备的的客户。经过二十多年的快速发展，公司已获得高新企业认定，获得产品相关以及软件著作权、全部产品拥有知识产权、公司产品已覆盖各地高校、科研所以及高端精密设备制造企业，并远销欧、美、日、韩等地。公司与高科技企业、*重点实验室建立了合作伙伴关系，已经成为**的精密定位产品生产商。
哈尔滨芯明天科技有限公司产品已广泛应用于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、生命科学、精密加工设备、新药设计与医疗技术、数据存储技术、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、航空航天、图像处理等领域。芯明天正在为的工业自动化、、航天事业的发展贡献着自己的力量。
