日本YAMATO等离子清洗机ATEC阿泰可Plasma Cleaner PDC200/210/510
适用于研究开发的小型等离子清洗机 RIE、DP模式、平行平板电极
用途：CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
去除有机膜和金属氧化膜
印刷电路基板的干式清洗
界面活性处理及LED封装
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型号 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
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等离子模式 |
RIE(DP模式选配） |
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电极构造 |
平行平板（固定） |
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高频输出 |
Max300W |
Max300W |
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频率 |
13.56MHz |
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控制、显示 |
液晶触摸屏 |
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反应室尺寸（W×D×H） |
400×250×150 |
500×300×200 |
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电极尺寸（W×D） |
W250×D170 |
W400×D200 |
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反应室材质 |
铝 |
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反应气体 |
2系统（Ar、O2） |
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填充气体 |
N2或干燥空气 |
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反应气体流量控制 |
流量计 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行选配 |
油泵（约345L/分）标配 |
油泵（约500L/分）标配 |
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气体导入口 |
反应气体2个，填充气体1个 |
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外形尺寸（W×D×H） |
540×600×600 |
540×600×600 |
700×700×1285 |
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电源 |
单相AC100V 10A |
三相 AC200V 6A |
三相 AC200V 8A |
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重量 |
约55Kg |
约70Kg |
约105Kg |
