低温真空探针台
北京飞斯科科技有限公司 黄小姐
美国Janis公司创建于1961年，在低温设备的设计、研发和制造等方面是国际的。凭借雄厚的低温真空技术实力，Janis 提供一系列完整的低温真空探针台测试系统，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS 、导、电子学、铁电子学、物理学和材料学等领域。Janis 低温真空探针台主要分为制冷剂（液氦/液氮型）探针台和制冷机型（闭循环）探针台。温度范围从3K到675K，探针臂数多可达8个，可对样品或器件施加直流、低频和微波信号。可选配光纤探针、磁场（永磁体、电磁体和导磁体）、高真空等。
典型应用：
l 低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件
l 应用领域包括半导体、MEMS 、导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等
l 探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八个探针）
l 高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K 到475K（可选600K）
l 各类无制冷剂型低温制冷系统（Base temperature:5K,8K,10K等）
l 可施加各类磁场（永磁体、电磁体和导磁体）
Janis低温真空探针台规格、参数一览表：
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低温真空探针台技术规格和参数 |
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型号 |
制冷 方式 |
温度范围(4个探针臂)(K) |
磁场类型 |
真空类型(mba) |
探针臂数量(个) |
大样品尺寸(mm) |
振动 大小 |
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ST-500 |
液氮 /液氦 |
~3.5-475 (选8-675) |
无 |
10-5-10-6(选 10-6-10-9 ) |
2-6(选8) |
50 (选200) |
25nm |
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ST-500-EM (电磁体) |
液氮 /液氦 |
~3.5-475 (选8-675) |
0.6T水平 |
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4 |
50 |
25nm |
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ST-500-SCON (导磁体) |
液氮 /液氦 |
5-420 |
3T垂直 |
10-5-10-6 |
2-6 |
50 |
<1 μm |
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ST-500-PM (永磁体) |
液氮 /液氦 |
5-350 (选475) |
0.6T水平0.2T垂直 |
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4(水平) |
50 |
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ST-500-UHV |
液氮 /液氦 |
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10-7-10-8 |
我们 |
50 |
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ST-500-MC (可移动式chuck) |
液氮 /液氦 |
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10-5-10-6(选 10-6-10-9 ) |
我们 |
50 (选200) |
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CCR-4 |
闭循环 |
4.5-325 (选6.5-675) |
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2-6 |
50 |
<1 μm |
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CCR-10 |
闭循环 |
9-350 (选11-675) |
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2-6 |
50 |
<1 μm |
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CCR-80 |
闭循环 |
80-350 (选82-675) |
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2-6 |
50 |
<1 μm |
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CCR-EM (电磁铁) |
闭循环 |
10-350 (选12 -675) |
0.6 T水平 |
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4 |
50 |
<1 μm |
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CCR-SCON (导磁体) |
闭循环 |
5-300 |
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10-5-10-6 |
2-6 |
50 |
<1 μm |
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RT-500 (室温) |
无 |
300-500 (选300-650) |
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2-6 |
50 |
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（备注：变温范围跟探针台的具体配置有关）
低温真空探针台
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