胎压计用压力传感器

MTPD-150A-10G（非补偿压力传感器裸片）主要应用于胎压计等
MTPD150系列压阻型压力传感器裸片是在100级洁净室中利用1.2微米CMOS工艺在6英寸的硅片上加工，后在1000级洁净室里应用微机械技术完成。批量的硅晶片利用电气化学蚀刻过程以使MTPD150达到的重复性。裸片通过电性能检测、上墨、切割以及目检后，以卷带或整个圆形硅片包装。裸片可以安装在陶瓷或PCB等材质，或其它特殊封装。以在非腐蚀性环境中压力检测的应用。

采用1.2微米加工工艺，压阻型，良好的重复性，绝压型0～150psiA
主要参数如下：

Operating Pressure Range：0～150psiA

Over Pressure：0～750psiA

Zero Pressure Offset Voltage (before bonding)：±15mV

Non-linearity：±0.5%FS

Bridge Resistance：4500～5500Ω

Sensitivity：0.1/0.2/0.3 (Min/Typ/Max) mV/V/psi

Full Scale Span：100/150/200 (Min/Typ/Max) mV

Temperature coefficient of offset TCO：

-70/-2.5/+65 (Min/Typ/Max) ?V/V /°C

Temperature coefficient of sensitivity TCS：

16/23/29 (Min/Typ/Max) %FS/100°C

Temperature coefficient of resistance TCR：

-13/-25/-37 (Min/Typ/Max) %FS/100°C

应用：
汽车轮胎压力监测、胎压计
工业设备等
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