1.测量长度
2.信号接口:1Vpp、TTL、HTL、值信号
3.栅距
4.测量速度:LF系列、部分LS系列≤30/60 m/min
5.LC/LS/LB系列≤120 m/min
6.精度等级和分辨率
7.安装位置的空间
8.确立参考点方式
测量准确度的定义分为:
1.Heidenhain定义为:在任意1M测量长度区段内建立在平均值基础上的位置偏差的大值Fmax均落在±α(μm)之内,则±α为准确度等级。
Heidenhain将准确度等级划分为:±0.1、±0.2、±0.5、±1、±2、±3、±5、±10和±15μm。
2.一个信号周期内的位置误差
Heidenhain要求敞开式光栅一个信号周期的位置偏差仅为±1%,封闭式光栅仅为±2%.
目前Heidenhain玻璃透射光栅和金属反射光栅的栅距只采用20μM和40μM,对衍射光栅栅距采用4μM和8μM,(1nm光栅除外)光学二倍频后信号周期为2μM和4μM.