高精度数控匀胶机 MS400/MS500/MS650
适合半导体硅片，晶片，化学化工基片，导电玻璃等工艺制版的表面涂覆
旋涂样片直径小可到3毫米，大可达330毫米。
高精度数码控制器：
可设定存储20个不同样片的旋涂程序段；
每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
随意任意时间范围的加减速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；
液晶显示屏可以实时读取任意速度状态
准的速度控制：
我们的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%（遵照美国NIST激光测量标准），无需校准；
20个51步程序段或者手动模式，非常方便设定速度和加速度程序段， 1~10000RPM的稳定转速可以随意设定！
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