UV照射装置
QUARK夸克株式会社
面照射
1.与以往的雌激素照射设备相比，是172nm照射量的3倍，照射强度为3倍
2.将半导体过程中需要的照度分布在现有的±15%(±15%)的高密度高密度图实现。
3.我们也可以改变台灯的结构，也可以应对真空处理。
管型照射
1. 准单色光(准单色光，能量转换效率很好，如其他放电灯的不需要的可见光、红外光比较少，不会对工作造成热造成的伤害。因此，可以在低温下进行表面处理。
2. 发光(以传统的光洗涤剂，在传统的光洗涤产品中使用的水银灯(波长185nm和255nm)，波长172nm的エキシマランプは光产生于波长172nm的真空紫外线(vuv)。※172nm以外也可以选择126。
3. 瞬时点亮闪烁(エキシマランプは瞬间的点亮闪烁，此时不给紫阳油灯造成损坏。通过利用这个特性，通过洗易清洗，工作时，只在工作上照射的同时，实际的车灯寿命比连续点亮长了。）
4. 通过高效清洗，在传送中也可以照射
5. 与低压水银灯相比，可以降低车灯、附带设备
6. 紧凑设计提高维修性能
