微小气体质量流量计 低耐压型质量流量计 气体流量控制器
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产品特点
普通低压型，适于1Mpa以下非腐蚀的清洁气体
无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年
准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需
瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
无需预热，测量时无响应滞后
内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度
自动累计，分段累计功能
技术参数:
| 技术指标 | AX10FC-LC质量流量控制器 | AX10FC-LM质量流量计 |
| 量程范围 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM | |
| 控制范围 | 控制器50：1 | 流量计100：1 |
| 准 确 度 | 流量：±0.8%读数±0.2%满量程 | |
| 可选±0.4%读数±0.2%满量程 | ||
| 压力：0.5%F.S 温度：±1℃ | ||
| 线 性 | ±0.5%F.S | |
| 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 响应时间 | 100ms | 10ms |
| 数 字 量 | RS232/485，MODBUS协议 | |
| 模 拟 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供电 | 12V/24V/±15V可选 | |
| 工作温度 | 0～50℃ | |
| 工作压力 | 工作压差：0.03～0.5MPa | 工作压降：<0.01Mpa |
| 大耐压 | 1MPa | |
| 电气连接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SccsHe | |
| 温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材质 | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡胶氯丁橡胶，丁晴橡胶 | |
| 接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
