Surftest (表面粗糙度测量仪) SV-3100

规格

配有多种参数。

评估型表面粗糙度测量仪同时配置

分析功能。

装置配备FORMTRACEPAK表面粗糙度/轮

廓分析程序。

标配高分辨率的Z1轴检出器，高显示

分辨力为0.0001μm (测量范围为8μm时)。

Z1轴的高显示分辨力为0.0001μm (测量

范围为8μm时)。

X轴驱动装置装配高精度玻璃光栅尺，实

现X轴方向移动的高定位。SV-3100

系列为驱动装置采用陶瓷导轨以提高抗

磨性，延长使用寿命。

X轴的分辨力为0.05μm。

标准或低测力检出器(4mn/0.75mN)的选

择，无需考虑设备本体是否有装配倾斜

装置。

SV-3100

型号SV-3100S4 SV-3100H4 SV-3100W4 SV-3100S8 SV-3100H8 SV-3100W8

测量范围/

分辨力

Z1 轴800μm/0.01μm 80μm/0.001μm 8μm/0.0001μm

X轴行程范围100mm 200mm

驱动部

X 轴直线度(0.05+0.001L)μm　(L: 测量长度 (mm)) 0.5μm/200mm

测量速度0.02 0.05 0.1 0.2 0.5 1.0 2.0 5.0mm/s

Z2 轴 (立柱) 300mm (电动)*1 500mm (电动)*1 300mm (电动)*1 500mm (电动)*1

评价轮廓

原始轮廓 粗糙度轮廓 波形轮廓 滤波轮廓 残余线轮廓 滚圆波纹度轮廓

滚圆中心线波纹度轮廓 DIN4776 轮廓 粗糙度 motif 轮廓 波形 motif 轮廓

评价参数

Pa Pq Psk Pku Pp Pv Pz Pt Pc PSm PΔq Pm (rc) Pmr Pδc Ra Rq Rsk Rku Rp Rv Rz Rt Rc RSm RΔq Rm (rc) Rmr Rδc

Wa Wq Wsk Wku Wp Wv Wz Wt Wc WSm WΔq Wm (rc) Wmr Wδc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 A1 A2 Rx AR R

Wx AW W Wte Ry RyDIN RzDIN R3y R3z S HSC Lo lr Δa λa λq Vo Htp NR NCRX CPM SR SAR NW SW SAW

分析图表ADC BAC图 功率谱图 自相关图 Walsh功率谱图 Walsh自相关图

倾斜分布图 局部峰值分布图 参数分布图

曲线补偿

倾斜补偿 (全部/前半/下半/端点/任意) R平面补偿 椭圆补偿

抛物线补偿 双曲线补偿 锥面补偿 多项式补偿

滤波高斯 2CR75 2CR50 2CRPC75 2CRPC50鲁棒样条

截至波长

λs 0.0008 0.0025 0.008 0.025 0.08 0.25 0.8mm

λc 0.025 0.08 0.25 0.8 2.5 8 25mm 任意 (0.025-50mm)

λf 0.08 0.25 0.8 2.5 8 25 80mm 任意 (0.025-50mm)

λh 0.025 0.08 0.25 0.8 2.5 8mm 任意 (0.025-50mm)

λl 0.08 0.25 0.8 2.5 8 25mm 任意 (0.025-50mm)

取样长度0.025 0.08 0.25 0.8 2.5 8 25mm 任意 (0.025-50mm)

记录放大

倍率

水平倍率10X - 500000X 自动

垂直倍率0.5X - 10000X 自动

检出器

检出方式差动电感方式

触针 & 测力0.75mN 触针针尖 (锥): 针尖椎角: 60º 针尖半径: 2μm

4mN 触针针尖 (锥): 针尖椎角: 90º 针尖半径: 5μm

电源测量主体100V 50/60Hz

外形尺寸

(W×D×H)

测量主体756×482×996mm 756×482×1166mm 1156×482×1176mm 766×482×996mm 766×482×1166mm 1166×482×1176mm

重量140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg