尘埃粒子计数器使用说明操作规范

发布时间:2018-01-22

(1) 洁净室(区)空气洁净度级别表:(ISO14644-1部分内容):namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

洁净度级别

尘粒大允许数/立方米

尘粒大允许数/:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags" />2.83

0.5μm

5μm

0.5μm

5μm

100

3520

29

10

0

1000

35200

293

100

0

10000

352000

2930

996

8

100000

3520000

29300

9962

83

300000

10560000

87900

29885

249

1000000

35200000

293000

99616

829

 

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