(1) 洁净室(区)空气洁净度级别表:(ISO14644-1部分内容):namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />
洁净度级别
尘粒大允许数/立方米
尘粒大允许数/:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags" />2.83升
≥0.5μm
≥5μm
100级
3520
29
10
0
1000级
35200
293
100
10000级
352000
2930
996
8
100000级
3520000
29300
9962
83
300000级
10560000
87900
29885
249
1000000级
35200000
293000
99616
829
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