电阻率测试仪作为一种电阻率的测量仪表，在使用过程中非常重视测量的精度，所以为了让电阻率测试仪测量更加准确，在测量之前需要做校验，在测量过程中要注意一些使用事项，下面仪器仪表世界网的来给大家介绍一下电阻率测试仪的使用和校验方法。
电阻率测试仪的测量范围：可测量电阻率：0.1～199.9Ω*cm。大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%。
适合测量各种厚度的硅片，可测晶片直径（大）园形Ф100mm、方形230×220mm。
电阻率测试仪的使用环境
温度23±2℃；相对湿度≤80% ；无较强的电场干扰；无强光直接照射。
电阻率测试仪的使用方法
使用仪器前将电源线、测试笔联接线与主机联接好，电源线插头插入～220V座插后，开启背板上的电源开关，此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。
探针头压在被测单晶上，右边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流，左边的表显示电阻率或2、3探针间的电位差。
电流大小通过旋转前面板右上方的电位器旋钮加以调节。
测试方法：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可。
校准设备
厚度小于3.98mm的（提供厚度小于3.98mm的标准电流修正系数表）取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪。
校验方法
在测试过程中要求每隔2小时用标准样块校准一次设备。一般情况下，除了信号传输线的断裂引起的故障外，针的维护主要包括针头的更换和针头的清理清洁工作维护后的安装及维护过程中，必须注意安装过程中的排线位置，按绿红黄黑（1234）位置排列……
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