HBM微型传感器

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北京诺信天正科技有限公司 王杰  电话：

1.3HBM微型传感器 

1.3.1电容式微型传感器

电容式HBM微型传感器 是利用蚀刻法制成的硅传感器，它的优点是耗能少、灵敏度高

以及输出信号受温度影响小，常用于压力、流量和加速度的测量。 

1.电容式微型压力传感器 

2.电容式微型流量传感器 

1.3.2电感式微型传感器

主要应用是微型磁通门式磁强计 

. 

1.3.3压阻式HBM微型传感器  

原理：半导体材料的压阻效应，利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同

一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响

应快。

1.3.4热敏电阻式HBM微型传感器  

主要用来测量气体的流量和流速。

HBM微型传感器