1.P84宏微复合台
P84宏微复合台可提供13mm的宏动行程,且控制精度可达纳米级。
P84宏微复合台是手动调节与电压调节相结合的精密定位台,可提供纳米级精度的位置调整。它的控制结构分为两部分,一部分为手动调节台,具有13mm的可调行程范围,通过千分尺进行调节;另一部分为压电执行器,内部由压电促动器驱动,通过施加电压来控制,它的大运动行程为110μm,分辨率可达2.5nm。
P84宏微复合台的外形紧凑且结构灵活,非常易于集成到设备或产品线中。
特点:
1-3轴,可根据要求定制;
易于调节,分辨率可达2.5nm
粗调行程13mm/轴
精调行程110μm/轴
具有闭环反馈功能
安装简单,结构紧凑,体积小巧
高
外观
2.P84宏微复合台机械部件
工作原理
P84宏微复合台每轴配有一个千分尺进行粗调,压电执行器进行调整。压电执行器是一种调整设备,它用于精密位置定位或力的控制。定位或力控制是通过压电执行器内部的压电促动器的伸长及收缩来完成的。在粗调机构中,可调整的直线运动范围为13mm,分辨率为10μm。在精调机构中,可调整的直线运动范围为100μm,分辨率为2.5nm。可通过粗调整结合精密调整结合来达到纳米级定位。
粗调部分-千分尺
粗调机械控制的精密定位是通过旋转千分尺旋钮做粗调的精密定位。
粗调
精调部分-压电执行器
精调机械控制的精密定位是通过压电促动器的伸长与缩短来进行调节的。当给压电促动器施加电压时,压电促动器将发生与电压成比例的形变(伸长或缩短)。
纳米级精密定位是通过给压电促动器施加不同电压来进行控制的。
3.P84宏微复合台配套控制器
P84宏微复合台的控制器有很多种,根据不同控制要求,可选择合适的控制器。
4.P84宏微复合台应用
P84宏微复合台对于显微镜下需要手动调节的纳米级定位是非常有用的。例如:光学对准、细胞操作、CCD相机聚焦镜头的精密定位等。
压电促动器已广泛应用于生物显微、精密加工、腔调谐、减震抑振等领域。
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