KD-1型大面积曝光机

发布时间:2016-08-01

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KD-1型大面积曝光机 


KD-1型大面积曝光机 
产品型号 KD-1型大面积曝光机
         本机适用于液晶、特种器件、特种电路、传感器及制版、晒版、印刷电路板、标牌和在金属薄片上制作精密图形等。
主要技术参数:
1、基片尺寸(mm): ≤200*200,厚度(mm):≤5 
2、基片材料: 硅片、玻璃、陶瓷、铌酸锂、覆箔板、铝板、铜板和不锈钢板等 
3、掩模材料: 玻璃、涤纶片 
4、曝光幅面(mm):  200*200 
5、曝光谱线(nm): 365、405 
6、曝光均匀性: ≤±10% 
7、曝光方法: (a)真空接触曝光;(b)接触曝光
8、曝光分辨率(mm): ≤0.01 
9、曝光时间(s): 0.1~99.9 
10、外界要求: 真空源≤-0.08Mpa。电源220V±10%




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