DM220

发布时间:2016-08-01

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DM220型高真空镀膜机


DM220型高真空镀膜机 
性能与用途:  该镀模台主要用于电镜的试样蒸镀金及炭模,亦可用于光栏清洗。
特点: 容积大,真空度高,功能全 — 可作蒸发镀模和溅射
主要技术指标:
钟罩尺寸     ?220×230mm
工作真空度   2.7×10ˉ3Pa(30-45分钟)
极限真空     1.3×10ˉ3Pa
蒸发电源     AC20V,50A(连续可调)
蒸发电极     2对(碳棒夹具,钨蓝夹具各一对)
样品尺寸     ?10,4孔(扫描样品)
样品台       旋转360°,倾斜0-45°
油扩散泵     300L/S
机械泵       4L/S 












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