SV3100维修保养，本公司团队，高效率，高标准，欢迎来电咨询：
技术参数x轴
测量范围: 100mm或200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法:线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向:向后
直线度: (0.05+1l/1000)μm*
(0.5μm/200mm:测量范围为200mm的型号)
倾角范围: ±45o
z2轴(立柱)
垂直移动: 300mm或500mm、动力驱动
分辨率: 1μm
检测方法: absolute线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s
检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测头选件
时，大可达2400μm)
检测方法:无轨／有轨测量
测力: 4mn或0.75mn (低测力型)
测针针尖:金刚石、90o / 5μmr
(60o / 2μmr:低测力型)
导头曲率半径: 40mm
