HORIBA STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的阀门类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™，以及PROFIBUS™，RS485，cc-
Flow Range
Flow Control Range
Valve Type
Input Signal
Responce
Operating Temperature
Operating Diffential Pressure
Pressure Resistance
Leak Integrity
|
CCM 1/2/5 LM (Inlet:atmospheric pressure•Outlet:vacuum•N2equiv) |
|
2 - F.S. |
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normally open / close |
|
0 - 5VDC |
|
less than 0.5 sec. |
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0 - 50 °C |
|
MAX. 300 kPa(a)(max,42psi) |
|
1MPa |
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5×10-12Pa•m3(He) |
Flow Range
Flow Control Range
Valve Type
Input Signal
Responce
Operating Temperature
Operating Diffential Pressure
Pressure Resistance
Leak Integrity
|
10/20 LM |
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2 - F.S. |
|
normally open / close |
|
0 - 5VDC |
|
less than 0.5 sec. |
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0 - 50 °C |
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MAX. 300 kPa(a)(max,42psi) |
|
1MPa |
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5×10-12Pa•m3(He) |
HORIBA STEC质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微电子加工制造业等
*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种国际化的通讯方式标志。
提供多气体，多量程的解决方案，是销量很多的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属密封，橡胶密封
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，低成本：产品系列中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到1000 SLM（以N2为标准）
应用领域
化工/石化/石油/天然气
生物反应/生命科学
食品饮料
LED FPD
冶金
电力能源及水处理
造纸
环境保护及控制
汽车
半导体/光伏
微电子
EPC及系统集成商
