KAMAN埃米级电涡流位移传感器SMT9700在半导体晶片膜厚度控制中的应用
KAMAN电涡流传感器SMT9700硅晶片上的膜是通过化学气相沉积（CVD）生成的。怎样确保在晶片上形成均匀的化学层沉积呢？
KAMAN电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。
1 在涡流技术领域处于国际的地位
2 在位置测量方面拥有过40年的丰富经验
3 产品众多，可以根据用户需要提供各种解决方案
解决方案
SMT-9700化学沉淀反应开始之前，用KAMAN电涡流传感器确保半导体晶片圆盘是平行于气体分散喷头（参见图1）。当然该传感器是用于校验过的，量程在半导体晶片圆盘位置限定之内。
OEM电涡流传感器SMT9700，是可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。是光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试的可靠性产品。
