名称 | ZHD230系列 |
型号 | ZHD230A | ZHD230B | ZHD230C |
真空系统组成 | 扩散泵+机械泵 | 分子泵+机械泵 | 扩散泵+机械泵 |
极限真空 | 6.6×10-5Pa | 6.6×10-5Pa | 6.6×10-5Pa |
电源 | 2 KW | 2 KW | 2 KW |
结构 | 一对蒸发电极 | 一对蒸发电极 | 一对蒸发电极 喷碳装置一套 |
制膜种类与特点 | 金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、有机膜等 |
蒸发电极 | ф12×L200mm（水冷电极1对） |
镀膜腔室 | 尺寸大小：ф230×H300mm； 材质：6mm厚玻璃罩或1Cr18Ni9Ti。上下结构，在腔室适当位置加装一充气阀，以便在镀膜工作完成后，使基片快速冷却。 |
抽速 | 从大气抽到10-3Pa小于或等于20分钟（分子泵）/30分钟(扩散泵) |
膜厚不均匀性 | ≤±5% |
真空测量方式 | 一台低-高数显复合真空计，测量范围从大气到10-5Pa |
真空控制方式 | 手动控制 |
样品架（基片台） | 基片台尺寸为Φ80–100mm，安装于腔室顶部 |
保护 | 对泵、靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施 |
设备其它参数 | 用电功率：5KW；设备占地面积：5m2 |
工作环境条件 | 1)供电：单相三线AC 220V±5%、50(±1)Hz、功率≥5千瓦；
2)独立地线：<3Ω；
3)供水：流量≥10L/min 水温10—25℃；
4)室温：<30℃；
5)相对湿度：<75%；
6)室内无大的尘埃、无腐蚀性易燃、易爆气体;
7)室内无明显的振动。 |
