表面淬火回火热处理通常用感应加热或火焰加热的方式进行。主要技术参数是表面硬度、局部硬度和有效硬化层深度。硬度检测可采用维氏硬度计，也可采用洛氏或表面洛氏硬度计。试验力（标尺）的选择与有效硬化层深度和工件表面硬度有关。
洛氏硬度计是测试热处理工件表面硬度的重要手段，它可选用0.5～100kg的试验力，测试薄至0.05mm厚的表面硬化层，它的精度是高的，可分辨出热处理工件表面硬度的微小差别。另外，有效硬化层深度也要由维氏硬度计来检测，所以，对于进行表面热处理加工或大量使用表面热处理工件的单位，配备一台维氏硬度计是有必要的。
表面洛氏硬度计也是十分适于测试表面淬火工件硬度的，表面洛氏硬度计有三种标尺可以选择。可以测试有效硬化深度过0.1mm的各种表面硬化工件。尽管表面洛氏硬度计的精度没有维氏硬度计高，但是作为热处理工厂质量管理和合格检查的检测手段，已经能够满足要求。况且它还具有操作简单、使用方便、价格较低，测量迅速、可直接读取硬度值等特点，利用表面洛氏硬度计可对成批的表面热处理工件进行快速无损的逐件检测。这一点对于金属加工和机械制造工厂具有重要意义。
当表面热处理硬化层较厚时，也可采用洛氏硬度计。当热处理硬化层厚度在0.4～0.8mm时，可采用HRA标尺，当硬化层厚度过0.8mm时，可采用HRC标尺。
| 红外线测温仪 | 硬度计 | 噪音计 | 测厚仪 |
| 涂层测厚仪 | 测力计 | 风速计 | 测振仪 |
| 激光测距仪 | 温度计 | 照度计 | 风速仪 |
| 针孔检测仪 | 转速计 | 酸度计 | 声级计 |
| 超声波测厚仪 | 超声波探伤仪 | 温湿度计 | 频闪仪 |
| 万用表 | 粗糙度仪 | 红外热像仪 | 里氏硬度计 |
| 钳型表 | 电子天平 | 接地电阻测试仪 | 气体检测仪 |
| 兆欧表 | 稳压电源 | 温度记录仪 | 基本量具 |
| 转速表 | 功率分析仪 | 磁粉探伤仪 | 在线式测温仪 |
| 示波器 | 烟气分析仪 | 测力机台 | 光度计 |
