MS12-LF-G-EUV，MX-2-1/2-CN
过滤等级：40 µm, 5 µm
接口：G1, G1 1/4, G1 1/2, G2
流量：11,500 ... 16000 l/min
过滤器MS-LF/LFM/LFX, MS 系列
通过模块化系统可订购更多派生型
过滤器LF
精细和精细过滤器LFM
活性炭过滤器LFX
气接口
冷凝水排放
应用范围(仅用于LFM和LFX)
过滤器污染指示器(仅用于LFM)
流量：1,000 … 4,100 l/min
温度范围：–10 … +60 °C
工作压力：0 … 20 bar
润滑脂665354 LUB-KB1-SILIKONFREI-20ML
油压电磁阀-4WRLE25V-370M-3X/G24 KO/AM
现货液压缓冲器,YSR-20-25-C-34574
安装组件：OABM-MK-G3
快插接头：QSML-M5-4
快插接头：QSQ-6-4
快插接头：QSMS-4
快插接头：QS-6
快插接头：QS-4
快插接头：QSM-M5-4-I
快插接头：QSL-4
快插接头：QSL-6
快插接头：QSML-G1/8-6
气缸 SLT-10-30-A-CC-B
真空发生器 OVEL-7-H-15-PQ-VQ4-UA-C-A-V1PNLK-H3
堵头 B-1/8
连接电缆 NEBU-M8G3-P-3-LE3
真空吸盘 VAS-5-M5-NBR
堵头 B-M5-B
气路板 OABM-P-G3-15-4
DGP-25-1000-PPV-A-B (526648)
DGP-25-250-PPV-A-B (526645)
DGP-25-400-PPV-A-B (526646)
DGP-25-500-PPV-A-B (526647)
DGP-32-1000-PPV-A-B (526656)
DGP-32-250-PPV-A-B (526653)
DGP-32-400-PPV-A-B (526654)
DGP-32-500-PPV-A-B (526655)
DGP-40-1000-PPV-A-B (526664)
DGP-40-250-PPV-A-B (526661)
DGP-40-400-PPV-A-B (526662)
DGP-40-500-PPV-A-B (526663)
MS12-LF-G-EUV，MX-2-1/2-CN
