结构紧凑、扁平:安装/工作空间比出众
在太阳能电池的生产过程中,通常需要对易碎的晶圆进行快速、的抓取和移动。H 型高速门架为此提供了理想的解决方案。
H 型高速门架专为抓取太阳能电池和晶圆而设计,覆盖了长方形工作空间,多 4 个自由度。伯努利吸盘非常适用于易碎晶圆的非接触式轻柔传输。
技术参数
规格 | EXCH-40 | EXCH-60 |
---|---|---|
X 轴行程 [mm] | 500、750、1000、1500 200 ...2000 | 750、1000、1500、2000 200 ...2500 |
Y 轴行程 [mm] | 400、500、750、1000 200 ...1000 | 500、750、1000、1250、1500 500 ...1500 |
大动态响应的额定负载 [kg] | 4 | 6 |
安装位置 | 水平或垂直 | |
重复精度 [mm] | ±0.1 | |
大速度 [m/s] 水平 垂直 |
5 4 |
5 3 |
大加速度 [m/s] 水平 垂直 |
50 30 |
50 30 |