一，为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，
我们需要密封住一定的空间，
防止气体或液体在压力的作用下，
流进
或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，
PVD
，半导体外延等等）
，
需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，
或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰
箱中的雪种容器等等）
，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。
如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚
至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，
在投入使用前，
就要行检漏，
使用中也要
定期进行检漏检查。
二，泄漏程度的量化
容器泄漏程度的量化，用漏率来表示。漏率的定义：
Q
1
=
t
V
P
?
?
?
其中：
?
P
为压强的变化量
V
为容器的体积
?
t
为时间的变化量
可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。下面举两个例子，可以
对漏率的大小有个直观的认识。
例
1
，
自行车胎有
3.8L
的容积，
30
天内胎压从
3.2bar
降到
2bar
，则漏率可量化为：
Q
1
=
t
V
P
?
?
?
=
s
l
mbar
3600
24
30
8
3
)
2000
3200
(
?
?
?
?
=1.76*10
-3
mba
r
·
l/s
这种程度的泄漏是很严重的，
这个漏率是很高的，
用我们常用的检漏方法就能检测到
漏点：将车胎放入水中，有气泡出来的地方就是漏点。
例
2
，
冰箱
2
年内，雪种泄漏了
11
克（分子量
102g/mol
）
，大约是
2.46bar
·
l
则漏
率可量化为：
Q
1
=
t
V
P
?
?
?
=
s
l
mbar
3600
24
365
2
1000
46
2
?
?
?
?
?
=3.9*10
-5
mba
r
·
l/s
这种程度的泄漏对冰箱来说，是很严重的，但这样程度的漏率用普通方法根本无法检
出。这时就需要用到检漏仪或质谱仪来检查了。下面的内容是检漏仪的相关介绍。
三，检漏仪检漏的原理
有两种方式可以检测出泄漏：
1
，
示踪气体
A
放在容器里面，
处于正压，
然后用仪器去检测，
容器外围是否有气体
A
，
如果容器外有气体
A
，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏
的程度。这种检漏方式叫
Sniffer
检漏或正压检漏。
2
，
示踪气体
A
喷在容器外面，
用仪器去检测容器里面是否有气体
A
。
这种方式能检测
出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工
作状态一致。
如检测对象工作时内部处于正压，
则用正压模式，
如检测对象工作时内部
处于负压，则用真空模式。
正压模式
负压模式
示踪气体
示踪气体
检测对象
检测对象
四，示踪气体的选择
对示踪气体的要求：
1
，
无害，不能对人体或环境造成伤害
2
，
化学性质稳定，不会起化学反应或易燃易爆
3
，
好是空气中没有的，只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方
面的要求
一般检漏都用氦气（
He
）作为示踪气体，也有用氢气（
H
2
）作为示踪气体的。
Table 1
空气中主要气体的属性
Mean Velocity (m/s)
Partial Pressure (mbar)
Mean Free Paths (
m
·
Pa)
H
2
1762
1.15X10
-3
11.5X10
-3
He
1246
5.23X10
-3
17.5X10
-3
H
2
O
587
12
－
N
2
471
781.8
5.9X10
-3
Ar
394
9.34
6.4X10
-3
CO
2
376
3.3X10
-1
4X10
-3
O
2
－
209.7
－
Ne
－
1.82X10
-2
12.7X10
-3
Xe
－
8.7X10
-5
3.6X10
-3
Air
463
1013
－
从上表中可以看到，
氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，运动速度快，
同等
条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使
用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。
五，检漏仪的构造
检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，
通过检测氦气的存在来确定是否有泄漏。
而对氦的
检测则使用的是质谱仪，
是只检测氦的质谱仪，
这种质谱仪将其他质量数的气体都
屏蔽掉了。质谱示意图如下图：
