主要特点
技术参数
尾气处理装置参数：
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处理速率 |
≥10Nm³/h |
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年泄漏率 |
≤1‰（任意位置检漏仪小于10ppmv） |
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极限真空度 |
≤50pa |
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电源 |
AC 380V±10% 50Hz |
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功率 |
＜3kW |
经过净化的SF6气体质量标准：
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露点 |
＜80μL/L |
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油份 |
＜10μL/L |
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固态颗粒直径 |
＜1μm |
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酸性物质 |
＜0.5μL/L |
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分解产物 |
＜1μL/L（以SO2、H2S、CO、HF的和计） |
辅助液化回收装置参数：
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压缩速率 |
≥10Nm³/h |
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制冷剂 |
R404a |
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理论回收能力 |
15min内50kg液态六氟化硫（前级有充足气源） |
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电源 |
AC380V±10% 50Hz |
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功率 |
＜6kW |
