扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，与10 nm型号4214兼容
深圳市杉本贸易有限公司上海办事处
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shsugimoto2018
输入电压24 V DC +/- 5％6 W（典型值）。离子平衡<+/- 25 V 150 mm距离40 LPM无管道连接
静电消除时间<10秒150毫米距离40 LPM无管道连接，+/- 1 kv→+/- 100 v取决于充电板显示器，离子发生型电晕放电型高频交流系统
清洁度ISO Class 1，0.1微米“扩展ISO Class 1,10 nm”*，电极单晶硅可交换，相应的净化气体N 2> 99.998％
流量40 LPM（36.5 Kpa）至90 LPM（171 kPa），大吹扫压力207Kpa（= 100LPM流量），高气体温度60摄氏度
N 2吹扫连接世伟洛克3/8“外径管道，离子化N 2连接1/4 NPT内螺纹连接器或可选接头，世伟洛克1/2“外径28-25710-SC管道连接
工作温度范围15至60摄氏度，信号输出打开/关闭触点时报警和离子减少输出，尺寸长度152.4毫米×宽度72.4毫米×深度32毫米
包含管道部分不包括在内，重量640克，外部不锈钢，安装方法后侧M5螺丝螺丝长度小于10 mm
即使在高纯度N 2环境下，4214型静电消除仪也支持“扩展ISO等级1,10nm”的高清洁度，并实现的离子平衡。
采用低颗粒单晶硅电极。
采用的清洁机制，不会将颗粒释放到外部，确保稳定的长期清洁
采用不需要任何调整的智能控制电路
内置传感器不断监测离子产生，以实现可靠的静电消除
集成紧凑型设计，内置控制器和电源
自动高压关闭功能可在低流速下保护产品
低颗粒应用的理想选择，如的半导体制造工艺
24 V DC驱动器
