1961 |
光电扫描测量显微镜 |
1966 |
为德国联邦物理技术研究(PTB)提供干涉比较仪 |
1971 |
为PTB提供角度测量台和圆光栅检测设备 |
1977 |
为PTB提供高精度纳米尺 |
1989 |
新技术望远镜(NTT)的角度编码器 |
1999 |
大型望远镜(VLT)的角度编码器 |
1999 |
多个间国际NANO-3长度比对测量的直线光栅尺 |
2001 |
为PTB提供纳米干涉比较仪 |
2003 |
海德汉,PTB与AIST(日本产业技术综合研究所)间角度比对测量 |
2004 |
海德汉,PTB与MITUTOYO间长度比对测量 |
2004 |
角度编码器用于加那利大型望远镜(Gran Telescopio CANARIAS) |
2005 |
海德汉与PTB间角度比对测量 |
2007 |
为25个欧洲ALMA天线提供角度编码器(Atacama大型阵列望远镜) |
2013 |
角度编码器用于丹尼尔·井上太阳望远镜(DKIST,原技术太阳望远镜,ATST) |
1936 |
用照相制版生产玻璃光栅尺,精度± 0.015 mm |
1943 |
用制版技术生产圆光栅,精度± 3秒 |
1952 |
重量秤成为主要收入来源 |
1967 |
自持光栅,显微结构 |
1985 |
增量式直线光栅尺的距离编码参考点 |
1986 |
相位光栅 |
1995 |
二维编码器格栅 |
2002 |
干涉扫描直线光栅尺的平面相位光栅 |
2005 |
抗污染的幅值光栅,激光烧蚀法生产 |
2009 |
大型二维格栅(400 mm x 400 mm),用于半导体工业的测量系统 |
1952 |
机床的光学直线光栅尺 |
1961 |
LID 1增量式直线光栅尺,栅距8 µm / 测量步距2 µm |
1963 |
LIC式直线光栅尺,18条刻轨,纯二进制编码 / 测量步距5 µm |
1965 |
激光干涉仪,用于机床校准 |
1987 |
LIP 101敞开式干涉扫描直线光栅尺,测量步距0.02 µm |
1989 |
LIP 301敞开式干涉扫描直线光栅尺,测量步距1 nm |
1992 |
PP 109R二维干涉扫描直线光栅尺 |
2008 |
LIP 200干涉扫描直线光栅尺,信号周期0.512 µm,高运动速度3 m/s |
2010 |
LIC 4000式敞开直线光栅尺,2条刻轨,伪随机码,EnDat 2.2,大测量长度27 m和分辨率1 nm |
2012 |
LIC 2100式单条刻轨直线光栅尺 |
2015 |
LIP 6000紧凑型干涉扫描直线光栅尺 |
1952 |
机床的光学直线光栅尺 |
1966 |
LIDA 55.6全封闭增量式钢带直线光栅尺 |
1975 |
LS 500玻璃光栅的增量式直线光栅尺,大测量长度3 m,测量步距10 µm |
1977 |
LIDA 300增量式直线光栅尺,大测量长度30 m |
1994 |
LC 181全封闭式直线光栅尺,7条刻轨,EnDat接口,测量长度3 m,测量步距0.1 µm |
1996 |
LC 481式直线光栅尺,2条刻轨, PRC,EnDat,大测量长度2 m |
2011 |
LC 200式直线光栅尺,大测量长度28 m,PRC,测量步距10 nm |
2014 |
LC xx5式直线光栅尺,大测量长度4 m,测量步距1 nm |
2015 |
LP 100增量式直线光栅尺,大测量长度3 m,测量步距32.5 pm |
1952 |
光学角度编码器 |
1957/1961 |
ROD 1光电扫描角度编码器,每圈40,000个信号周期,10,000线 |
1962 |
ROD 1每圈72,000个信号周期 |
1964 |
ROC 15式角度编码器 / 分辨率17 bit |
1975 |
ROD 800增量式角度编码器,精度± 1秒 |
1986 |
RON 905增量式角度编码器,精度± 0.2秒 |
1997 |
RCN 723式角度编码器,空心轴带定子联轴器版,单圈23 bit,EnDat接口,精度± 2秒 |
2000 |
ERP 880干涉扫描角度编码器,每圈180,000个信号周期,精度± 0.2秒 |
2004 |
RCN 727式角度编码器,空心轴,大直径100 mm |
2009 |
ROP 8080晶片测针的干涉扫描角度编码器,有承载功能的角度编码器,每圈360,000个信号周期 |
2011 |
ERP 1080微型干涉扫描角度编码器,单芯片的编码器结构 |