海德汉的角度编码器

发布时间:2018-01-22

1961

光电扫描测量显微镜

1966

为德国联邦物理技术研究(PTB)提供干涉比较仪

1971

为PTB提供角度测量台和圆光栅检测设备

1977

为PTB提供高精度纳米尺

1989

新技术望远镜(NTT)的角度编码器

1999

大型望远镜(VLT)的角度编码器

1999

多个间国际NANO-3长度比对测量的直线光栅尺

2001

为PTB提供纳米干涉比较仪

2003

海德汉,PTB与AIST(日本产业技术综合研究所)间角度比对测量

2004

海德汉,PTB与MITUTOYO间长度比对测量

2004

角度编码器用于加那利大型望远镜(Gran Telescopio CANARIAS)

2005

海德汉与PTB间角度比对测量

2007

为25个欧洲ALMA天线提供角度编码器(Atacama大型阵列望远镜)

2013

角度编码器用于丹尼尔·井上太阳望远镜(DKIST,原技术太阳望远镜,ATST)

光栅技术里程碑

1936

用照相制版生产玻璃光栅尺,精度± 0.015 mm

1943

用制版技术生产圆光栅,精度± 3秒

1952

重量秤成为主要收入来源

1967

自持光栅,显微结构

1985

增量式直线光栅尺的距离编码参考点

1986

相位光栅

1995

二维编码器格栅

2002

干涉扫描直线光栅尺的平面相位光栅

2005

抗污染的幅值光栅,激光烧蚀法生产

2009

大型二维格栅(400 mm x 400 mm),用于半导体工业的测量系统

编码器里程碑: 敞开式直线光栅尺

1952

机床的光学直线光栅尺

1961

LID 1增量式直线光栅尺,栅距8 µm / 测量步距2 µm

1963

LIC式直线光栅尺,18条刻轨,纯二进制编码 / 测量步距5 µm

1965

激光干涉仪,用于机床校准

1987

LIP 101敞开式干涉扫描直线光栅尺,测量步距0.02 µm

1989

LIP 301敞开式干涉扫描直线光栅尺,测量步距1 nm

1992

PP 109R二维干涉扫描直线光栅尺

2008

LIP 200干涉扫描直线光栅尺,信号周期0.512 µm,高运动速度3 m/s

2010

LIC 4000式敞开直线光栅尺,2条刻轨,伪随机码,EnDat 2.2,大测量长度27 m和分辨率1 nm

2012

LIC 2100式单条刻轨直线光栅尺

2015

LIP 6000紧凑型干涉扫描直线光栅尺

编码器里程碑: 封闭式直线光栅尺

1952

机床的光学直线光栅尺

1966

LIDA 55.6全封闭增量式钢带直线光栅尺

1975

LS 500玻璃光栅的增量式直线光栅尺,大测量长度3 m,测量步距10 µm

1977

LIDA 300增量式直线光栅尺,大测量长度30 m

1994

LC 181全封闭式直线光栅尺,7条刻轨,EnDat接口,测量长度3 m,测量步距0.1 µm

1996

LC 481式直线光栅尺,2条刻轨, PRC,EnDat,大测量长度2 m

2011

LC 200式直线光栅尺,大测量长度28 m,PRC,测量步距10 nm

2014

LC xx5式直线光栅尺,大测量长度4 m,测量步距1 nm

2015

LP 100增量式直线光栅尺,大测量长度3 m,测量步距32.5 pm

编码器里程碑: 角度编码器

1952

光学角度编码器

1957/1961

ROD 1光电扫描角度编码器,每圈40,000个信号周期,10,000线

1962

ROD 1每圈72,000个信号周期

1964

ROC 15式角度编码器 / 分辨率17 bit

1975

ROD 800增量式角度编码器,精度± 1秒

1986

RON 905增量式角度编码器,精度± 0.2秒

1997

RCN 723式角度编码器,空心轴带定子联轴器版,单圈23 bit,EnDat接口,精度± 2秒

2000

ERP 880干涉扫描角度编码器,每圈180,000个信号周期,精度± 0.2秒

2004

RCN 727式角度编码器,空心轴,大直径100 mm

2009

ROP 8080晶片测针的干涉扫描角度编码器,有承载功能的角度编码器,每圈360,000个信号周期

2011

ERP 1080微型干涉扫描角度编码器,单芯片的编码器结构

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