日本喜开理CKD高真空气控阀使用方法及注意事项
使用流体 真空及不活性气体
使用压力 Pa(abs) 1.3×10-6
～1×105
使用大压差 MPa 0.1
阀座泄漏 Pa•m3
/s(He) 1.3×10-10
以下
外部泄漏 Pa•m3
/s(He) 1.3×10-11
以下
耐压力 MPa 0.3
流体温度 ℃ 5～60
环境温度 ℃ 0～60（不得冻结）
通径 mm φ17 φ24 φ39 φ48
导通率 注1 ℓ/s 5 13 43 74
配管方式 NW16 NW25 NW40 NW50
控制压力 MPa 0.4～0.6
重量 kg 0.4 0.5 1.2 2.0
日本喜开理CKD高真空气控阀使用方法及注意事项
