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根据GB/T15623—1995B标准，电液伺服阀的自动测试需要完成静态性能测试（空载特性、压力增益特性、负载特性）和动态性能测试（幅频特性、相频特性），在性能曲线上直接读出性能指标，并可以把曲线保存成可以随时调用的数据文件。液压测试原理和国标相同。
自动测试就是利用现代的传感器技术、电子技术和计算机技术，原来由试验人员手工单点测试、读取模拟仪表、记录数据、描绘曲线的过程用自动测试系统迅速地自动连续地对各点进行测试、保存数据文件并自动生成性能曲线，从而得出电液伺服阀的各个性能指标。其中，空载特性、负载特性、动态特性的测试具代表性。为实现自动测试功能，测试系统在结构上分为测试台液压系统和自动测控单元。
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厦门泰尼电气有限公司
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Refurbed Novellus 60-029344-00 Manometer 10 Torr Millipore Brooks CDLD-11S06-EMC
Eimac Y-770 / SK-810B Socket (Y770) for 4CX1000A+
Semitool PA806-095T 95mm Reticle SRD Spin Rinser Dryer Single Bolt Rotor
CTC T-STAR 1096A T1/Digital Loop Carrier Test Set w/102
ASM PN: 16-190469D01 Feedthrough CF35
Advanced Energy/Aera FC-7800 SiH4 Mass Flow Controller MFC ASM 54-123806A40
SMC VV5Q11-11-DAJ00916/VQ1100Y-5 Pneumatic Valve Manifold, ASM 50-125207A21
Qualiflow AFC 202 H2 100 slm Mass Flow Controller MFC ASM PN: 54-123324A73
Avocent/Apex OutLook 180ES KVM Switch w/9 Cables
Network Technologies ST-4U-TS-NBS-12V NODEMUX KVM Switch ASM PN:33-125313A01
National NL-5870A Gas Filled Thyratron Tube 5870
HP Agilent 10780F Laser Fiber Optic Remote Receiver
Varian VacIon Plus 25 Triode Ion Pump PN: 911-5030, 9115030 20 l/s
ASM PN: 16-320893C02 Refl-S-Plate-End Reflector
ASM PN: 3751988-01 Insulator-II Lamp Lower-LH
Parker Compumotor S6 Micro-Stepping Step Motor Drive
Jennings CVCD-1000-5S Vacuum Variable 10-1000pF 5kV
Buehler EPO-EASE Epoxy Dispensing System Catalog Number: 20-1250 (Dispenser)
ASM 53-106246A78 Regulator-Dome Loaded HI Flow Pressure Tescom 449-207A-0RR
ASM PN: 16-175243D01 Foot-Wand-200MM (200 mm/8")
AMAT Applied Materials 0021-22064 Cover Ring 300mm
BH Thermal BriskHeat Centipede CENTOPI-1 Temperature Control System Interface
Tektronix 485 Dual Trace 350 MHz Portable Oscilloscope
Fluke 8808A 5-1/2 Digit Digital Multimeter DMM Voltmeter Meter
Varian PN: 919-0110/9190110 StarCell Ion Pump 22 l/sec w/Magnet
Mykrolis PSPBD2B1/ASM 54-125027A04 Mass Flow Controller
Lam Research 853-001198-003 Gate & Linkage Assembly Delrin Inner
National PCI-6031E (OEM1) High-Resolution Multifunction I/O Board 100ks/s 16-bit
AMAT/Applied Materials PN: 0100-90500 Video Buffer PCB Board/Card
ASM PN: 48-122952A53 Filter-316L SST .500" Male VCR, Pall PN: SGLFF5500VMM8
ASM PN: 43-105310A52 Assy Lamp Fxtr 36" x 1/2" Bulb T-8 12 Fixture
Qualiflow AFC 202 H2 50 slm Mass Flow Controller MFC ASM PN: 845003607
Qualiflow AFC 202 H2 100 slm Mass Flow Controller MFC ASM PN:845005022
TTC / Acterna FIREBERD 4000 Communications Analyzer
ASM PN: D001500B Heater Feedthrough
ASM PN: 03-121726D01 PCB Assy-Digital I/O Board, MICON 5 (V) D16 Modified
AMAT/Applied Materials PN: 0040-00311 Turbo Port Baffle Oxide 8330/8310/8300
Cleaned Applied Materials/AMAT 0021-36191 Plate, Pumping
ASM PN: 3657558-01 Pin-Paddle-Quartz
ASM PN: 02-180593D01-D Assy-Blind Plate Gate 2
ASM 16-187383D01 Manifold Atmospheric Vent
ASM PN: 04-143385-01 Retrofit Valve Kit, 50-122938A96&-123343A91 to Swagelok
AMAT PN:1080-00126 Yaskawa Servo Motor Drive SGDH-01AE-N3Y900 ServoPack
ASM PN: 16-321650E01 100MM to 200MM Cassette Register Plate (4-8")
PRI/Brooks Automation BM302960100 Assy, Bd, Motor, Prog, TT Board PCB
CTC T-STAR 1000 T1/Digital Loop Carrier Test Set
4: AMAT 3870-03063 2-Way Diaphragm Valve Kit
Eimac Y-540/Y540/ML-EE64Y/Y482 Tube
Swagelok 6LVV-MSM-ALD3ET-W3-P-CSL ALD Diaphragm Valve, ASM PN: 50-125108A96
Swagelok 6LVV-MSM-ALD3ET-W3-P-CSL ALD Diaphragm Valve, ASM PN: 50-125108A82
Swagelok 6LVV-MSM-ALD3ET-W2-P-CSL ALD Diaphragm Valve, ASM PN: 50-125108A95
Swagelok 6LVV-MSM-ALD3ET-W2-P-CSL ALD Diaphragm Valve, ASM PN: 50-125108A81
HP/Agilent E3614A DC Power Supply 48W, 8V, 6A
HP/Agilent E3615A DC Power Supply 60W, 20V, 3A
SMC XLG-40H0-X59 Valve, ASM PN: 91310-98D22/98022
Eimac SK-1300 Air System Tube Socket 3CX5000/3CX10000/3CX15000/3CX20000/3CX30000
MKS 253A-3-80-2 Exhaust Throttle Valve NW-80
ASM PN: 56-106565A36 Heater-1.5 IN Dia, 200 VAC, 30W, 150C, MKS PN:9615-1131
ASM PN: 16-178672D01 Support-Large Dia Susceptor
Norbro 10-40R 90 Degree Actuator w/3-Way 1" Ball Valve
ASM PN: 16-188888D01 Cover-Lamp Ends-Lower-LH
