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本系统采用液压缸和位移传感器的方式计算电液伺服阀的工作流量，计算的流量不仅，而且克服了大流量流量计误差偏大、有小流量限制的缺点。静态缸23在限位开关22、24和电磁换向阀21的控制下，在静态性能测试时相当于缸有无限长的行程。对位移传感器25的位移信号进行微分与静态缸23的有效面积的积即得电液伺服阀的工作流量，流量的正负由控制被测阀的电信号的正负决定。
动态性能的自动测试采用频域扫频法。动态缸12的工作频率为400Hz，满足被测电液伺服阀的动态性能测试要求。自动测控单元给电液伺服阀0～200Hz的正弦激励信号，根据位移传感器20记录的动态缸的位移规律，从而得出电液伺服阀的动态特性。
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厦门泰尼电气有限公司
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BOC Edwards PV50PKS B Stainless Steel NW50 Right Angle Pneumatic Valve
ASM PN: 56-106565A35 Heater-1.5 IN Dia, 200 VAC, 40W, 150C, MKS PN:9615-1134
ASM PN: 56-106565A37 Heater-1.5 IN Dia, 200 VAC, 40W, 150C, MKS PN:9615-1135
ASM 56-106565A48 Heater-1.5 IN Dia, 200 VAC, 40 W, 150 C, MKS PN: 9615-1222
Omron E3L-2RC4 Red Laser Photoelectric Sensor ASM PN: 02-187648D07 187648D08
ASM PN:56-106565A44 Heater-1.95 IN Dia, 200 VAC, 46 W, 150, MKS PN:9699-1121
ASM PN: 16-187393D01 Lower Side Shield, Adjustable
ASM PN: 16-331126C01 Support-Susceptor
ASM PN:56-106565A34 Heater-1.5 IN Dia, 200 VAC, 30 W, 150C, MKS PN:9615-1132
AMAT PN: 0190-27649 ConnectPort TS 4 Ethernet-Serial 4-Port Digi Switch
ASM PN: 3751864-01 Nipple-Reducing-Single Port
Brooks Sho-Rate 1355EHA7C4A1M Flowmeter Rotometer, ASM PN: 02-321681C01
GF+ George Fischer Ryan Herco 325071006V Mini Flow Sensor 5930.526
ASM PN: 04-143375-01 Retrofit Valve Kit 50-122938A66 & 123824A04 to Swagelok
ASM PN: 16-320319B01 Refl-D-Air Baffle-PCE Reflector
Terra Universal 1943-00 Adjust-A-Shelf Desiccator 3950
ASM PN: 04-323035A01 Enclosure O-Ring Set Kit
ASM PN: 04-350321-01 Multiport Flange Universal O-Ring Kit, O-Rings
ASM PN: 3752453-01 Shield-PCE Bottom Side-300MM (300 mm)
Eimac SK-860 Socket + SK-816 Chimney for 3CX1000A7
Tonna Electronics VHF QAM Modulator Model 950015
Teledyne Broadband Detector/Log Video Amplifier Amp 400 MHz-18 GHz -40 dBm
Motor Specialty 5894 90 V DC Motor for Verteq IsoDry 28? .25 HP, 3475 RPM
Varian PN: 885547-03 Carrier Power Supply Assembly P/S
Edwards 1102 Pirani Penning Controller (Vacuum)
MKS 122AA-00100BB Baratron Pressure Transducer Capacitance Manometer ASM
Tektronix VITS 200 / DBI 200 Test Signal Generator Inserter
Cleaned 3 Piece CKD AVP Valve K1 Kit PN: 500082923
Amphenol/Amp P/N: 356-265 DECA-PIERCE Termination Tool
Leybold Cat: 721-42-075 RUVAC WSU/WS/WA/WAU Roots Blower/Pump System
Bird Thruline 4342 RF Directional Dual Wattmeter VSWR Monitor Watt Meter
Stangenes 829154-01 (E) 0.1 V/A Current Transformer for Varian Medical
Eimac 4CW800F Tube w/ Capacitor
