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功能安全标准虽然已经出版，功能安全研究的范围还在深入和扩大。一方面是现场通信的功能安全问题研究，这些研究成果已经部分反映在一些现场总线系列的标准中；另一方面是电磁环境对功能安全的影响，这些研究成果开始在修订的过程控制仪表的电磁兼容性标准中体现。
我国许多研究机构今年开展了功能安全的研究工作，主要包括：对安全要求高的用户机构，如石油、化工、制药类机构，开展了如何提出和确定功能安全要求的研究。他们采用风险评估技术、可信性管理方法、HAZOP（Hazard and Operability Study，危险与可靠性研究）分析等方法，确定目标对象对功能安全的定量要求。
制定了宣传贯彻两个标准，培训功能安全工程师的工作。同时一些机构开展了工程项目和仪表产品的功能安全评定工作。
一些仪表制造厂开始研制高可靠性的功能安全仪表产品。个别企业为了使用户对产品的有更好的认同，他们将产品向国际机构申请。
体上，虽然我国创新的功能安全研究成果还少，但功能安全的活动已经在国内启动，正逐步深入地展开。
【】 【诚信】 【创新】 【合作】 【共赢】
SVG/ASML 866-0054-001 Optical glass item
ASML/SVG 4022.470.1998 SHB MDC 4022.470.4359
Applied Materials AMAT System Controller Power Supply
Tokyo Electron TEL D123021 Quartz Sleeve Bell Jar
ASML/SVG 4022.471.99062 PAAC 550V/25A
SVG/ASML 859-0158-002 #4 Segment Mirror Assy
ASML 4022.437.1455 Board SVG
ASML/SVG 4022.4022.456.2982.2 Eir Heat Exchange
ASML 4022.436.2801 SVG Board/Card
ASML 4022.470.8125 RH Option Supply Rack ROSR
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M
Optical Beam Splitter Cube Prism
ASML/SVG Optical Item 854-0141-001
ASML Lithography B.V. 4022.502.25208 Blue Mirror/40
Zeiss Beleuchtung Starlith 400 ASML 4022.455.84271
Zeiss Beleuchtung Starlith 400 ASML 4022.455.84291
Horiz Situation IND Model Rd. 700 4033169-902 Sperry
KLA Tencor Extender Card 710-711345-00
ASML 4022.430.1800 Motor Assy.
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M N2
ASML 4022.486.55123 Pressurized Glass SVG
Tokyo Electron WZ10-100360-11 Teaching Jig Window TEL
SVG/ASML 879-0008-003 Optical Assy.
ASML 4022.431.3185.1 Lamp Optics Lens 106524-8007
ASML 4022.470.8825 Module Card SVG
ASML/SVG 923-8244-001 Power Supply SMC
ASML 4022.480.0101 AWH Gripper Wrist LP Assembly SVG
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M He
ASML 4022.430.1422 Power PL Module SVG
ASML 4022.430.6602 Brushless Servomotor SVG
ASML 4022.471.6829 4 Channel Amp Control PPCA
ASML/SVG 4022.471.5027 TCB Syncbus Trigg
Zeiss Beleuchtung Starlith 500 ASML 4022.454.54492 SVG
ASML/SVG 4022.502.29089 Emission Detection Assy V.L
SVG 302-13393-00-1 Spin Chuck ASML
SVG Spin Chuck ASML
ASML 4022.471.4706 SVG T. Measurment
ASML 4022.437.0218 LEV. SENS. DEMO
New LAM 810-017004-1/810-017004R001 Solenoid Interlock
ASML 4022.486.19531 ABR Unit AT/XT
Precision Cryogenic Liquid Nitrogen Reservoir Vessel
New LAM 810-17016-001 Etcher Stepper Motor Drive
MDC Vacuum Products Corp. K075-SBLM-4
Global-Wulfsberg Systems DTU 43000-01-01-3
SVG/ASML 859-9404-003 Vacuum Chuck
SVG/ASML 879-0014-002 Vacuum Chuck
New LAM 605-017016-100 PCB Stepper Motor Drive Chip
Lambda Alpha 1500W H07019 Power Supply
EZI Dry20 Dry Compact 2.0
Lam Research Wafer Chuck
Keyence Corp PHOTOELECTRIC SET LX-130R AND LX-130T
ASML 4022.436.46005 Wafer & Reticle Stage Rack SVG
Manual Gate Valve Helium Leak Tested HTE
ASML 4022.631.46912 Bale 1400 Servo Assembly SVG
Kachina Semiconductor 16-3029-001 2 Plenum-Shower TEL
ASML 4022.484.72232 AWH Gripper Wrist LP Assembly SVG
ASML 4022.486.57153 ATRS XT2 SSY Coil Assembly SVG
Nikon Optistation 3 MST PCB 2S700-55 (2S015-064-4)
ASML/SVG Module 4022..436.1064
Tokyo Electron Suscepter 16-0126-007 SUSC 150mm on 200
ASML 4022.486.5364 Optic mirror and sensor SVG
