扫描力显微镜SFM是在探针与表面间存在一种力，探针装在一个短的悬臂的末端，通过感觉短臂的偏斜而侧量力的大小。在理想情况下，能测出10-13_10-4 N范围的力，悬臂的偏斜可用许多种方法测出。初Binn谊等人用电子隧道方法测，后来又有用光干涉仪、光偏斜和电容变化等方法测量。与STM相似，SFM也有多种成像方式，如恒力成像，恒高成像，恒力梯度式，跳跃工作式等。SFM可测度力一距离的关系，它可测量各种力；如前所述，包括库伦力，静电力，Van der Waals力。若用磁性探针，还可制成磁力显微镜，测量磁力与距离的关系。一般说来，SFM是通过悬臂在垂直方向上的偏斜针尖与表面的作用。通过悬臂的扭曲程度还可测出针尖与标本间的摩擦力，这种成像方式称为摩擦力成像(frictional forceimaging) > 90年代以来，对于SFM的针尖制做与处理，衬底材料的选择等方面都有很大进展。
SFM的发明为生物学研究又增添了一种有力的工具。
