压电纳米定位平移台-辽宁研生 产品介绍
压电纳米台P62系列是采用压电陶瓷驱动的Z向和Tip/Tilt纳米级精密扫描台，典型应用：快速反射镜系统(FSM)作为发射光源与接收端之间控制光束传播方向的精密光学仪器，集光、机、电技术于一身，内置的精密压电扫描台作为核心部件发挥着重要的作用，凭借其高精度、高分辨率、快速响应等优点，已被广泛应用于天文望远镜、激光通讯、自适应光学、复合轴精密跟踪等领域。
扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
产品特点：
◆ 薄的外形尺寸，大的中空尺寸；
◆ 采用无摩擦、无回差柔性铰链并联导向系统，具有高的导向精度；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品应用：
光刻 • 干涉 • 扫描显微镜 • 度量衡学 • 激光技术 • 微加工 • 存储设备的测试 • 纳米定位 • 掩膜/晶圆定位
纳米定位系统 电话:辽宁研生科技有限公司研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
辽宁研生科技有限公司
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