纳米扫描台 产品介绍
纳米扫描台 电话:辽宁研生科技有限公司研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。
二维纳米级精密扫描台║P54系列
行程：XY500μm
P54系列是采用压电陶瓷驱动的二维并联纳米级精密定位平移台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式薄式结构设计 ， 结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特点：
◆ 外形尺寸：大的中空尺寸，薄设计，易于集成；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链并联导向系统，质量更轻、惯量更低、动态性更高；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品应用：
扫描显微镜 • 干涉 • 晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 纳米定位
辽宁研生科技有限公司
电话：
邮箱：sales@piezoxyz.com
网址：http://piezo.testmart.cn
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