西安普瑞光学仪器有限公司主要从事光、机、电一体化精密测量仪器的开发、生产和销售。目前已拥有世界水平的表面形状精密测量仪器PR-L05系列产品，该产品采用光学干涉技术，精密测量样品的表面形状分布。它可广泛用于测量MEMS基板，半导体集成电路基板以及平板显示器面板等样品的表面三维立体形状的微细结构。与同类测量相比，具有下列特征：
◆非接触、非破坏测量 :namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />
◆高速测量 高速度可达60μm/s
◆高稳定性，可用于生产线的实时测量
◆高精度，可以测量各种台阶、沟槽等复杂表面结构
◆高效能，可同时测量透明膜上下表面分布
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2.性能参数
仪器型号 | PR-L05 I型 | PR-L05 II型 | PR-L05 III型 |
测量范围 | 10mm | 10mm | 10mm |
测量原理 | 白光干涉法 | 白光干涉法 | 白光干涉法 |
垂直分解能 | <50nm | <10nm | <5nm |
水平分解能 | 0.43μm | 0.43μm | 0.43μm |
测量面积 | ≥185×140μm | ≥185×140μm | ≥185×140μm |
测量重复性 | ≤5% @1σ (标准台阶) | ≤2% @1σ (标准台阶) | ≤1% @1σ (标准台阶) |
垂直扫描速度 | 标准为60μm/s | 标准为30μm/s | 标准为10μm/s |
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