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并联式3至6维压电纳米定位平台P6系列 纳米级精密位移台制造商-辽宁研生
三至六维纳米级精密定位系统║P66/P68系列：大行程500μm2.5mrad，分辨率12nm0.06μrad；承载能力50N；外形尺寸175x175x38mm，中空尺寸75x75mm。
产品特点：
◆ 外形尺寸：大的中空尺寸；
◆ 大行程；
◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统，具有高的导向精度；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品应用：
扫描显微镜（SPM） • 干涉 • 计量 • 掩模/晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 微操作
配套压电控制器 模块化控制器E5系列
辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位精密位移台的制造商-高
研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际水平，可地替代进口产品。
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