纳米位移台制造商,压电纳米定位台,1-6维纳米定位位移台,闭环精度高,可实现亚纳米的分辨率及纳米级定位精度.垂询:,辽宁研生科技有限公司,压电纳米定位精密位移台制造商,了解更多请访问研生公司http://www.piezoxyz.com/
◆ 薄的外形尺寸，大的中空尺寸；
◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统具有高的导向精度；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
应用领域：扫描显微镜（SPM） • 干涉 • 计量 • 掩模/晶圆定位 • 度量衡学 • 生物技术 • 显微光学 • 激光技术 • 微操作
配套压电控制器,模块化压电控制器E5系列：
研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际水平，可地替代进口产品。
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