效 能╲机 型 | 8x6 | 12x12 |
精度 XY | Uxy =2+ L/250μm (L:mm) | Uxy =2.6+ L/175μm (L:mm) |
精度 Z | U 2=3+ L/150μm (L:mm) | |
重复性 XY | 2μm | 2.5μm |
重复性 Z | 2μm | |
加速度XY | ||
加速度 Z | ||
速度 XY | ||
速度 Z | ||
光学尺读值 | 1μm/ 0.5μm / 0.1μm | |
机 械 性 质 | ||
量测行程 | ||
外观尺寸 | LxWxH 760x635x | LxWxH 1090x865x |
重 量 | ||
床台荷重 | ||
床 台 | 表层电硬镀& 固定螺孔 | |
基座材质 | 铝合金 (选配:花岗岩) | |
精密滑轨 | XY:特殊轨道 Z:线性轨道 | |
移动控制 | 伺服:CNC,鼠标,下拉式控制。 | |
电 子 系 统 | ||
光学镜头 | Motorized Zoom/ 12:1,17-410X Or 6.5:1,20-250X | |
影像 & 光源 | 高解析/ 彩色系统—白色LED 黑白系统—红色LED | |
软 体 | InSpec for Win. 2000 几何软件 | |
计算机系统 | 1.2GHz / 256 MB Ram/ Win. 2000/ CD-RW/网络卡 | |
使用环境 | 湿度:30-80% | |