光切法显微镜 光切法测量显微镜
型号:GH/9J
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测量范围
(平面度平均高度值)/um
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表面粗糙度级别
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所需物镜
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放大倍数
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物镜组件与工件的距离/mm
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视场/mm
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1.0-1.6
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9
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60×N.A.0.55∞*
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510X
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0.04
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0.3
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1.6-6.3
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8-7
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30×N.A.0.40∞*
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260X
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0.2
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0.6
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6.3-20
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6-5
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14×N.A.0.20∞*
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120X
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2.5
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1.3
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20-80
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4-3
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7×N.A.0.12∞*
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60X
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9.5
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2.5
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